Die Richtlinie beschäftigt sich mit einer dauernden anlagenbezogenen messtechnischen Überwachung einzelner Parameter von reinraumtechnischen Anlagen, wie z.B. Druck, Temperatur, Feuchte. Die Überwachung kann kontinuierlich oder sequenziell erfolgen. In der Richtlinie werden Verfahren zur Durchführung von Messungen an reinraumtechnischen Anlagen spezifiziert und die dafür geeigneten Messgeräte beschrieben, um diese als Standard für die Überwachung festzulegen.

Deutlich wird die Abgrenzung zwischen Monitoring und Klassifizierungsmessungen hervorgehoben. In gestraffter Form werden neben Begriffen und Abkürzungen sowohl die Messgrößen, das Partikel- und mikrobiologische Monitoring als auch Schnittstellen, Software, Aspekte der Alarmierung und der Dokumentation beschrieben.

Der Anhang A enthält eine Checkliste für die Auslegung eines Monitoringsystems und der Anhang B eine Messstellenliste.

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